COMSOL仿真MPCVD反应腔中微波等离子体

Name: COMSOL仿真MPCVD反应腔中微波等离子体
Uploaded: 2026-10-04T11:32:27.000Z
Duration: 32 s
Channel: 我在清华做仿真

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2026-10-04 19:32:27

本仿真研究30 Torr纯氢环境下，2.45 GHz、1500 W微波输入后反应腔内等离子体的形成与热演化过程。微波经同轴端口进入腔体，电子吸收微波能量，与氢分子发生弹性碰撞、电离和解离，产生新的电子、氢分子离子及氢原子；带电粒子在电场作用下漂移、扩散，并通过空间电荷影响腔内电势分布。同时，电子与重粒子之间的能量交换及化学反应使气体升温，热量向恒温腔壁传导。等离子体电导率和气体状态的变化进一步反馈至微波场与粒子输运，形成相互耦合的演化过程，最终在基台上方形成较稳定的高密度等离子体区域。