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COMSOL仿真磁控溅射PVD沉积

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2026-10-04 11:07:07
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COMSOL仿真磁控溅射PVD沉积,计算了磁控溅射中的“磁场约束电子—氩气放电—氩离子向铜靶输运”过程:将求得的永磁体磁场耦合到电子迁移率和扩散张量中,研究磁场如何影响电子输运、能量和氩气电离,以及电子、亚稳态氩和氩离子的产生与空间分布。
自强不息,厚德载物。
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