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高端光刻机心脏迎来重大突破!上海朗道燧岩极紫外EUV光源系统样机2026工博会首秀:依托清华自主研发核心零部件 整机国产化率达90% 但距规模量产仍需3~5年!

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2026-10-15 00:01:32
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