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微纳工程基础-MEMS绪论P1

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2023-06-01 17:54:49

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北航微机电系统工程专业，微机电系统工程基础课程视频

BHU-JIANG1982 发消息

第1章MEMS绪论P1

07:31

第1章MEMS绪论的P2

08:16

第1章-MEMS绪论P3

05:46

第1章MEMS绪论P4

09:30

第2章 2.1 MEMS材料简介

16:46

第2章Part2.2 光刻装置与流程

14:53

第2章 Part2.3 光刻基本流程

08:24

第2章2.4光刻基本流程

15:48

第2章2.5 光刻-分辨率的影响因素

12:56

第2章2.6 光刻-技术点补充

12:30

第3章表面微加工3-1热氧化

12:19

第3章表面微加工3-2 热扩散与离子注入

10:55

第3章表面微加工3-3物理气相沉积PVD

09:30

第3章表面微加工3-4 等离子体基础

15:42

第3章表面微加工3-5 PVD溅射

10:42

第3章表面微加工3-6化学气相沉积CVD

14:43

第3章表面微加工3-7化学气相沉积CBD

14:49

第3章表面微加工3-8电镀与应力问题

08:57

第3章表面微加工3-9案例

06:24

第4章体微加工工艺4-1-刻蚀方法与关键参数

11:32

第4章体微加工工艺4-2湿法刻蚀

15:20

第4章体微加工工艺4-3气相化学刻蚀

12:43

第4章体微加工工艺4-4等离子体刻蚀

14:54

第4章体微加工工艺4-5等离子体刻蚀的几个补充问题

11:19

第5章MEMS键合5-1阳极键合

13:30

第5章MEMS键合5-2硅直接键合与等离子体辅助键合

11:08

第5章MEMS键合5-3金属扩散键合与共晶键合

07:33

第5章MEMS键合5-4树脂键合与键合评价

09:22

第5章MEMS键合5-5 自组装简介

06:38

第6章MEMS工艺综合6-1

14:41

第6章MEMS工艺综合6-2

08:48

第6章MEMS工艺综合6-3

06:29

第6章MEMS工艺综合6-4

06:38

第6章MEMS工艺综合6-5

05:55

第7章MEMS设计基础7-1

11:30

第7章MEMS设计基础7-2

11:08

第7章MEMS设计基础7-3

10:42

第7章MEMS设计基础7-4

13:26

第8章换能器材料与原理8-1

09:04

第8章换能材料与原理8-2

15:42

第8章换能材料与原理8-3

13:03

第8章换能材料与原理8-4

07:29

第9章压力传感器及设计9-1

10:31

第10章微纳驱动器10-1

12:03

第10章微驱动器10-2

02:50

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