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何为MEMS压力传感器?

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2026-03-30 21:44:55
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MEMS 压力传感器是一类微型化的压力检测器件,主要分为电容式和电阻式两大类。 它的工作原理很直观:核心是一层弹性薄膜结构,受到压力时会发生微小形变。这种形变会改变薄膜或其上材料的电学特性,比如电阻值或电容值。通过检测这些电信号的变化,就能反推出所受压力的大小。
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