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COMSOL 仿真离子束溅射刻蚀过程

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2026-05-20 13:04:00
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COMSOL仿真氩离子(Ar⁺)轰击硅表面时的溅射刻蚀过程,以及由此引起的表面形貌演化。
自强不息,厚德载物。
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